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國內首條12英寸先進傳感器研發中試線成功通線

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國內首條12英寸先進傳感器研發中試線成功通線

來源:國家智能傳感器創新中心


          6月30日,由國家智能傳感器創新中心(簡稱“創新中心”)建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產設備為主,具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力,同時為國產裝備提供驗證平臺,加速先進傳感器產業鏈國產化,實現自主可控。
  
  面向新興技術發展和市場應用需求,創新中心將在12英寸中試線持續開發新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術,重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝,并推動相關產品及應用的產業化。
  
  12英寸中試線位于上海智能傳感器產業園內,產業園以智能傳感器為核心,以創新平臺和龍頭企業為支撐,伴有精準的政策助力,發展傳感器特色工藝,積極培育和引進領先的智能傳感器產業鏈領軍企業,促進產業集聚和協同發展,力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領域產業高地。
  
  國家智能傳感器創新中心致力于先進傳感器技術創新,以關鍵共性技術的研發和中試為目標,聯合中國傳感器與物聯網產業聯盟1000+家產業鏈各領域的代表企業開展共性技術研發,形成“產、學、研、用”協同創新機制,加速我國先進傳感器及其相關應用的核心技術發展,推動智能傳感、物聯網、人工智能的生態體系建設。

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